激光三角法測(cè)距
利用激光良好的方向性，以及幾何光學(xué)成像的比例特性，將一束激光照射到物體上，在與激光光束成一定角度的位置用光學(xué)成像系統(tǒng)檢測(cè)照射到物體的光斑，這樣鏡頭-光斑、鏡頭平面到激光光束的連線、光斑到鏡頭平面與激光光束交點(diǎn)構(gòu)成一三角形，而鏡頭-光斑的像、鏡頭平面以及過光斑的像的激光光束平行線與鏡頭平面的交點(diǎn)成一個(gè)與前面所描述的三角形相似的三角形。用光電傳感器陣列檢測(cè)到光斑的像的位置，則可以根據(jù)三角形性質(zhì)計(jì)算出光斑位置。這種測(cè)量方法適合距離較短的情況。
目前的激光三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)（抄數(shù)機(jī)）一般都采用激光三角法測(cè)距影像測(cè)量?jī)x。
光速法測(cè)距
利用光速不變?cè)?，檢測(cè)激光發(fā)射與反射光反射回來的時(shí)間差，從而計(jì)算出距離。為了提高精度，可以將激光調(diào)制上一個(gè)低頻信號(hào)，利用測(cè)量反射光的相位差來測(cè)得反射時(shí)間差。這種方法一般用于遠(yuǎn)距離測(cè)量。
目前各種激光測(cè)距儀一般用這種方法測(cè)量。
激光干涉法測(cè)距
這是一種相對(duì)測(cè)量， 它無法測(cè)得一個(gè)物體離儀器的絕對(duì)距離，但可以測(cè)得兩被測(cè)物體的相對(duì)距離。它的原理是一臺(tái)邁克爾遜干涉儀，利用反射鏡距離變化時(shí)干涉條紋的變化來測(cè)量，反射鏡從物體A運(yùn)動(dòng)到物體B，干涉條紋變化的數(shù)量反映了其距離。這種測(cè)量要求條件較高，但是可以精確測(cè)量，它也是目前所有測(cè)量手段中最精確的一種。
光學(xué)圖象識(shí)別技術(shù)測(cè)量位移
其所用原理與三角法相似，但是可以不用激光，而是直接對(duì)移動(dòng)物體拍照，利用前后兩幅圖片中物體在圖片中的位移來計(jì)算物體真實(shí)的位移。、
這種技術(shù)在光電鼠標(biāo)中大量使用。
手機(jī)觸摸屏測(cè)量?jī)x，二次元影像測(cè)量?jī)x，全自動(dòng)影測(cè)量?jī)x廠家
光柵測(cè)量位移
利用光柵形成的莫爾條紋，計(jì)算莫爾條紋變化量即可計(jì)算出位移量。
這是目前應(yīng)用最多的技術(shù)，光柵尺大量應(yīng)用于工業(yè)上的行程測(cè)量。
激光衍射法測(cè)量細(xì)絲、小孔直徑和狹縫寬度。
測(cè)量衍射斑的大小就可以計(jì)算出孔或縫的尺寸。
激光掃描法測(cè)量物體外尺寸。
其本質(zhì)就是利用光的直線傳播原理和激光的良好方向性，通過測(cè)量物體影子的尺寸來間接得到物體尺寸。
激光多普勒測(cè)量位移
利用多普勒頻移原理測(cè)量物體的速度，對(duì)速度進(jìn)行積分就得到位移
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